реферат «Магнетронные распылительные системы»
Вид:реферат
Описание
Принцип действия магнетронной распылительной системы показан на рисунке 1.1. Основными элементами устройства являются катод-мишень, анод и магнитная система. Силовые линии магнитного поля замыкаются между полю
Скачать бесплатно [325 K]